그래핀 시트를 이용한 질량 측정장치 및 질량 측정방법

Abstract

본 발명은, 미세 질량을 측정하기 위한 측정 대상물이 안착되는 그래핀 시트와, 상기 그래핀 시트에 탄성 변형 영역 내의 인장 변형을 가하는 변형 수단을 포함하고, 상기 측정 대상물의 질량은, 상기 측정 대상물이 안착되지 않은 상태에서 상기 인장 변형된 그래핀 시트의 고유 진동수 정보와, 상기 인장 변형된 그래핀 시트에 상기 측정 대상물이 안착된 상태에서 감지된 고유 진동수 정보에 근거하여 예측되는 그래핀 시트를 이용하는 질량 측정 장치를 제공한다.

따라서, 상기 그래핀 시트의 Q 값이 증가된 상태에서 상기 측정 대상물의 고유 진동수가 측정되므로 , 측정 가능한 상기 측정 대상물의 질량 범위가 증가할 뿐만 아니라 측정 정확도도 향상된다.